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Document Document Title
JP2015080369A
【課題】フライホイールの回転軸を軸支箇所 において確実にガスを遮断し、冷却効率の低 下を防止する。【解決手段】超電導磁気軸受 を介して、極低温及び高真空下にあるフ...  
JP5704952B2  
JP5705331B2  
JP5705566B2  
JP5700033B2  
JP2015064059A
【課題】ダイアフラムの撓み剛性が小さくな るダイアフラム保持方法により、ダイアフラ ムの板厚を過剰に薄くする必要がなく、所望 の絞り特性を容易に実現できる可変絞り...  
JP2015061978A
【課題】液化ガスを効率良く移送することが でき、簡易でメンテナンスの手間も掛からな い信頼性の高い構造を有する極低温液体用ポ ンプを提供すること。【解決手段】超電...  
JP2015510091A
シールを実現するために、2つの対向する表 面の一方側を備える多孔質材料を使用して、 2つの表面間の外部加圧気体、液体、蒸気等 を規制し均等に分配して、2つの面を互...  
JP5693812B2  
JP5693829B2  
JP2015059569A
【課題】ロータとこのロータを駆動させるた めに設けられている駆動モータとを有する真 空ポンプを備える装置に関して、真空ポンプ 内に配置された、干渉磁場を生成する少...  
JP2015059587A
【課題】回転体を簡易な構造で、より安定し て非接触状態で支持することが可能な静圧気 体軸受装置を提供する。【解決手段】エアシ ャフト本体部15の多孔質焼結層112...  
JP2015508294A
【課題】この発明は、恒久的に単心室フォン タン循環を補助するための改善された回転式 血液ポンプを提供することを目的とする。【 解決手段】この発明は、回転軸に対して...  
JP5687453B2  
JP2015048863A
【課題】使用条件に影響されないで、実使用 時に所望の減衰性能を持つダイアフラム式可 変絞りを備えた可変絞り形静圧軸受を提供す る。【解決手段】可変絞り形静圧軸受は...  
JP2015508126A
磁気特性を示す物品と、物品に耐食性を与え る方法と、電気機械要素とを提供する。物品 は、磁気特性を示す磁性材料の第1の部分を 含む基板を含む。物品は、更に、磁性材...  
JP2015048908A
【課題】摩擦抵抗に関連する精度低下を回避 できるとともに、構造的に簡素で製造および 調整が容易なすべり案内装置を提供する。【 解決手段】互いに平行な基準案内面23...  
JP2015045414A
【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を 図り得るロール装置を提供すること。【解決 手段】ロール装置1は、中空のロール体2と 、ロール体2の中空部に隙間3をもって...  
JP5684060B2  
JP5678703B2  
JP2015040598A
【課題】消費電力の低減を図りながら、タッ チダウンの発生を抑制できる磁気軸受装置を 提供する。【解決手段】磁気軸受装置の、第 1、第2ラジアル磁気軸受6,7は、回...  
JP2015040587A
【課題】簡単な構成で移動体を案内体上の所 要位置に静止させることができる静圧軸受装 置を提供する。【解決手段】案内体12上に 静圧軸受のポケット14A,14Bより...  
JP2015506087A
【解決手段】ウエハ形状物を処理する装置は 、密閉型処理チャンバを備える。密閉型処理 チャンバは、気密エンクロージャを提供する ハウジングと、密閉型処理チャンバ内に...  
JP2015505925A
本発明は、サイズ及び寸法許容差によらず、 気体流量がその内部区分の変形によって調整 されるように一定流量を確保とすることので きる静圧気体ベアリングのための制限器...  
JP2015038363A
【課題】羽根車に吹き付けた気体の排気路の スペースを確保し、羽根車の回転軸方向の力 を受ける軸受の支持剛性を大きくする。【解 決手段】気体軸受スピンドル1が、回転...  
JPWO2013011711A1
【課題】リニアアンプを用いなくても、汎用 のサーボアンプを用いて1nmレベルの位置 決めをすることができるようにする。【解決 手段】ステージ装置3は、ガイド面を有...  
JP2015036575A
【課題】変位情報のS/N比向上を図ること ができる磁気軸受装置の提供。【解決手段】 磁気軸受装置において、Y1軸のセンサ71y 印加される第2の搬送波信号を、X1軸...  
JP2015034572A
【課題】回転摩擦を低減可能な回転体の軸受 構造を提供する。【解決手段】回転体2を回 転可能に支持する軸受12と、軸受12にお ける回転体2に対向する軸受面11aに...  
JP5670231B2  
JP5673087B2  
JP5673086B2  
JP5673564B2  
JP2015031349A
【課題】大型の支持対象を非接触で支持する のに好適な静圧気体軸受装置を提供する。【 解決手段】静圧気体軸受装置1の上板21の 表面212には、静圧気体軸受10を収...  
JP2015025559A
【課題】回転摩擦を低減させると共に回転速 度を向上させることができ、しかも、使用期 間の長期化を図り得ると共にランニングコス トをも低減させ得るカムフォロアを提供...  
JP2015025561A
【課題】羽根車に吹き付けた気体の排気路の スペースを確保し、羽根車の回転軸方向の力 を受ける軸受の支持剛性を大きくする。【解 決手段】気体軸受スピンドル1が、回転...  
JP2015025555A
【課題】回転機械のためのアクティブマグネ ティックベアリングを提供する。【解決手段 】アセンブリは、平均径方向エアギャップを 有する少なくとも1つのアクティブマグ...  
JP5661749B2  
JP5661914B2  
JP2015501910A
【解決手段】気体軸受スピンドル用の気体軸 受アセンブリ。気体軸受アセンブリは、ハウ ジング部(11)と、ハウジング部内に配置 されるとともにハウジング部に対して弾...  
JP2015010699A
To provide a table device capable of suppressing deterioration of positioning accuracy.A table device comprises: a first base which has a first reference plane in parallel with a predetermined plane; a second base which has a second refe...  
JP2015502130A
電気機械式フライホイール装置は、フライホ イールマスおよび電動発電機を有する。電動 発電機は、ステーター巻き線を有する固定内 側ステーターの周りに回転するローター...  
JP2015012256A
To provide a table apparatus capable of suppressing reduction in positioning accuracy.The table apparatus includes: a first member; a second member; a first guide device for guiding the second member so that the second member is moved in...  
JP2015010716A
To prevent instability by eliminating axial disturbance of an axial magnetic bearing without increasing costs.A control device for controlling a position of a rotor 10A supported by active magnetic bearings comprises: a trajectory planni...  
JP2015011005A
To provide a table device which suppresses a table from running out of a target orbit.A table device includes: a first member which is movable in a predetermined plane; a second member which is movable relative to the first member; a fir...  
JP5649735B2  
JP5645560B2  
JP2014237207A
To provide a main spindle device which controls a flow rate of a fluid supplied to a fluid bearing that rotatably supports a main spindle, to inhibit vibration of the main spindle while inhibiting heat generation of the fluid and loss of...  
JP2014237208A
To provide a main spindle device which performs controlling so as to periodically change a flow rate of a fluid supplied to a damping addition bearing that rotatably supports a main spindle, to thereby inhibit vibration of the main spind...  
JP2014231857A
To provide a variable throttle type hydrostatic bearing including a diaphragm type variable throttle having great damping property.A variable throttle type hydrostatic bearing includes a diaphragm 33 whose outer periphery is fixed, and w...  
JP2014231871A
To provide a variable throttle type hydrostatic bearing including a diaphragm type variable throttle having desired damping performance without being influenced by the dimensional accuracy of structural members of the diaphragm type vari...  

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