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Document Document Title
JP2016105190A
【課題】明確に画定され且つ均一な照明野を 照明エリアにおいて形成するリングライト照 明器を提供する。【解決手段】環状に配列さ れた光源を有するリングライト照明器で...  
JP2016517026A
投影リソグラフィのための照明光学ユニット (4)は、結像される物体(7)を配置する ことができる物体視野(5)を照明光(16 )で照明するように機能する。照明光学...  
JP2016103025A
【課題】種々のピッチのパターンを同時にそ れぞれ高解像度に転写可能にするための露光 方法及び装置を提供する。【解決手段】照明 光ILでレチクルRを照明する照明光学...  
JP5928653B2  
JP5928632B2  
JP5927555B2  
JP2016099390A
【課題】 回折光を低減させることで、画像光のコント ラスト比を高めることができる照明光学系お よび画像表示装置を提供する。【解決手段】 光源(11)と、光源(11...  
JP2016100461A
【課題】光学部品数の増加および結像光学系 の複雑化に伴う、照明光学装置の大形化、高 額化を回避し、被照明面での照明光の照度均 一性の向上とテレセントリシティの調整...  
JPWO2013191255A1
照明装置は、長方形の第1面、内面、及び長 方形の第2面を有し、前記第1面に入射した 光が前記内面での多重反射を介して前記第2 面から出射する、光インテグレータと、...  
JP2016095523A
【課題】様々な方向に向くサブパターンを含 むパターンを結像することを可能にする傾斜 偏向ミラーを有する反射屈折投影対物器械を 提供する。【解決手段】(t1−Δα1)≦...  
JP2016086060A
【課題】コンピュータのメモリを大量消費す ることなく、マスクパターンの一部の形状を 変更した場合にも極めて短い時間でシミュレ ーションできる結像パターンシミュレー...  
JP2016085472A
【課題】 光学部材の交換を伴うことなく、瞳強度分布 の形状および偏光状態の変更に関して高い自 由度を有する照明光学系。【解決手段】 光源からの光により被照射面を照...  
JP5918858B2  
JP2016513817A
【課題】先行技術に対して新規性及び進歩性 があるようにリフレクタ(例えばミラー)の 温度を制御する。【解決手段】リフレクタと 、リフレクタの近位にありリフレクタと...  
JP2016075936A
【課題】照明視野内のレーザ放射線を均一化 するためのデバイス及びそのようなデバイス を製造する方法を提供する。【解決手段】照 明視野内のレーザ放射線を均一化するた...  
JP5914254B2  
JP2016071353A
【課題】 本発明の目的は、光の利用効率の低下を抑制 しつつ、より小型な光源装置を実現可能な光 学装置及びこれを用いた光源装置、投射型表 示装置を提供することである...  
JP2016072543A
【課題】パターン倒れの発生を抑えつつも、 回路パターン形成領域とウエハの端縁部との 間で急峻に立ち上がる照射強度分布を有する 光を照射可能な周辺露光装置用の光照射...  
JP2016065923A
【課題】光源の発光点が大きい場合でも、集 光点での集光性の低下を抑制すること。【解 決手段】複数の発光点たるLEDチップ26 を含むLEDパッケージ24Aから少な...  
JP5911898B2  
JP5910324B2  
JP5909369B2  
JP2016063185A
【課題】大型化を回避し、被照明面を高照度 にかつ均一に照明するのに有利な照明光学装 置を提供する。【解決手段】照明光学装置1 01は、光源1からの光束を用いて被照...  
JP2016061851A
【課題】蛍光を効率良く発生させることがで きる照明装置およびプロジェクターを提供す る。【解決手段】励起光を発する光源と、励 起光を透過させる基板と、光源と基板と...  
JP2016057644A
【課題】光源となる素子数を増やしても、照 明光学系をコンパクトに構成可能な照明光学 系および画像表示装置の提供を目的とする。 【解決手段】照明光学系は、二次元レー...  
JP2016058591A
【課題】光量の損失を抑えつつ、二次光源の 像の形状を容易に所望の輪帯形状や円形状と する照明光学装置を提供する。【解決手段】 照明光学装置12は、光源1からの光束...  
JP2016058165A
【課題】光源装置からの高出力光の進行方向 を安定して高精度に制御することができる照 明装置を提供する。【解決手段】照明装置4 0は、光学素子50と、光学素子上を走...  
JP2016053718A
【課題】マスクを所定の偏光状態の照明光で 照明する際の光量損失を少なくできる照明光 学装置及び投影露光装置を提供する。【解決 手段】レチクルRを照明光ILで照明す...  
JP2016053644A
【課題】 本発明の目的は、漏れ光の影響を抑制するこ とが可能な色分離合成系及びこれを用いた投 射型表示装置を提供することである。【解決 手段】色分離合成系が、各色...  
JP2016510425A
本発明は、ミラー装置によって反射された光 の角度分布を変更する目的のために互いに独 立に調節可能である複数のミラー要素を有す る少なくとも1つのミラー装置(200...  
JP2016510142A
投影レンズの物体平面(OS)に配置された パターンをその像平面に動作波長λ<260 mを有する電磁放射線を用いて結像するた の投影レンズは、物体平面(OS)と...  
JP2016045306A
【課題】輝度ムラを抑制し、かつ光利用効率 が高い面光源装置に使用される光束制御部材 を提供する。【解決手段】光束制御部材は、 第1入射面151、第2入射面152、...  
JP2016042124A
【課題】光量の損失を抑えつつ、照明光の光 線角度分布を変化させることができる照明装 置を提供する。【解決手段】光を出射する光 源2と、光を光入射面から入射し、内部...  
JP2016042122A
【課題】光量の損失を抑えつつ、照明光の光 線角度分布を変化させることができる照明装 置を提供する。【解決手段】光を出射する光 源と、光Lcを光入射面4aから入射し...  
JP2016509691A
放射ビームをリソグラフィ装置内の基板のタ ーゲット部分上に投影するように構成された システムを開示する。システムは、ミラーと 、コントローラとを備える。ミラーは、...  
JP2016042125A
【課題】照度変化の感度を抑えると同時に不 要光による光学性能の劣化及び成形時におけ る離型性の低下を抑えることが難しい。【解 決手段】拡散レンズの射出面を、少なく...  
JP5892499B2  
JP5888622B2  
JP2016039258A
【課題】開口絞りを介した光学性能の調整に 有利な光学装置を提供する。【解決手段】光 学装置100は、光軸上の開口を規定し対向 する2つの端部をそれぞれ有する第1部...  
JP2016039429A
【課題】2つの空間変調素子を直列配置する タイプのプロジェクターであって、投影され る画像の画面内において明部と暗部との境界 が目立たないように制御してモアレの発...  
JP2016035593A
【課題】光源から出力される光の光路内に空 間光変調部材が配置された場合であっても、 光源の高出力化によるデバイスの製造効率の 向上に貢献できる照明光学装置、露光装...  
JP2016035999A
【課題】光源から放射される光束の利用効率 の点で有利な光源装置を提供する。【解決手 段】光源装置100は、所定の大きさを有す る発光領域1aから光束を放射する光源...  
JP5884743B2  
JP5884871B2  
JP5881221B2  
JP5878169B2  
JP2016031403A
【課題】小型の構成で光利用効率を改善する こと【解決手段】光源ユニット10からの光 を変調する液晶パネル40を前記光で照明す る照明光学系20Aは、光源側から光路...  
JP5872639B2  
JP5868492B2  
JP5867576B2  

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