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Document Document Title
WO/1992/015029A1
When two hollow tubular light conduits (12, 14) are interconnected at a miter joint, beamed light can be redirected from one of the conduits to the other by a thin transparent prismatic element (22) that is mounted to extend along the pl...  
WO/1991/019218A1
Disclosed is an optical device for producing direct and/or trans-illumination of an object (2), the device consisting of an illumination and imaging device (1, 3, 4, 5), together with a polarizer (6) located in the illumination-beam path...  
WO/1991/018315A1
The invention relates to an image projector providing homogeneous lighting of an object to be projected while increasing the light collection efficiency. The projector (1) is comprised of a light source (6) producing a light intended to ...  
WO/1991/018307A1
The device of this invention employs a short focal length anamorphic lens (10) to collect light from a source (6) with asymmetric angular dispersion of the flux. Focal lenghts are chosen to provide an approximate line fuzzy focus with a ...  
WO/1991/013374A1
A reflector plate having such a form that two lines start at one point on a circle enclosing an emission source having a cylindrical, spherical or similar shape and extend toward opposite sides to form two symmetrical involutes and a str...  
WO/1991/010103A1
A device for focusing parallel rays on a receiving element (20). The device is characterized in that it comprises at least one focusing element on either side of a principal plane, each said element comprising a cylindrical primary refle...  
WO/1990/013777A1
A nonimaging radiant energy device (40) may include a hyperbolically shaped reflective element (42) with a radiant energy inlet (54) and a radiant energy outlet (58). A convex lens (44) is provided at the radiant energy inlet (54) and a ...  
WO/1990/011545A1
According to the invention the illuminating device having a high luminosity factor is essentially characterized in that it comprises a light source (1) housed in a mirror (2), a truncated transparent sleeve (8) placed between said light ...  
WO/1989/005463A1
A concentrator arrangement (10) consists of a plate (11) coupled to a plurality of mutually parallel first cells (14) with parabolic side walls (2, 3). The first cells (14) are optically coupled with second cells (15) whose coupling face...  
WO/1989/001640A1
Gradient optical density transmissive light directing devices (20, 24, 26, 28, 30) and fabrication thereof are disclosed herein. Examples of such devices include concentrators, lenses and compound lenses. The present invention teaches a ...  
WO/1987/006012A1
A concentrator of solar radiation comprises a carrying structure (1) on which are mounted, in annular rows, facets (2) the reflecting surfaces of which are split into annular zones (3). At least one of the peripheral annular zones (3) ha...  
WO/1987/001466A1
A regulator means (8) or (9) for varying the distance on the optical axis between a light source (1) such as a semiconductor laser and a condenser (2) is provided in an optical head device. A spherical aberration component, which is a fa...  
WO/1983/002310A1
The method and apparatus of the invention are intended to collect, in the intermediary space comprised between the transparent cover and the absorbing receiver surfaces of a solar insolator, the substantially parallel light beams from th...  
JP5984013B2  
JP5983689B2  
JP2016162754A
【課題】多数の光源が互いに異なる角度で照 射されて、ビームパターンの重畳がなされて も、ビームパターンのマッチングがなされる ことができるようにする車両用発光装置...  
JP2016162731A
【課題】 ルーバーを構成する遮光体の入射側の端面で の光の吸収を抑制して、輝度を向上させるこ とができる面状照明装置を提供する。【解決 手段】 面状照明装置10は、...  
JP2016162575A
【課題】アフォーカル倍率が低いながら光線 束を細く絞ることができ、かつ小型の光源装 置を提供する。また、上記の光源装置を備え た照明装置および前記照明装置を備えた...  
JP2016157096A
【課題】照明光をより効率よく得ることが可 能な照明装置を提供する。【解決手段】投射 表示装置等に用いられる照明装置1を、光源 10と、ライトトンネル14とを有して...  
JP2016526258A
本発明は、レーザー光源(300)、波長変 換光源、合成光源及び投影システムに関する 。当該レーザー光源は、レーザー素子アレイ と、集光光学素子(33)と、コリメー...  
JP5979793B2  
JP2016154141A
【課題】照明光における輝度むらを低減する ことが可能な照明装置等を提供する。【解決 手段】照明装置は、レーザ光源を含む光源部 と、2次元配列された複数の単位レンズ...  
JP2016153878A
【課題】青色光の出力を大幅に向上すること ができ、しかも小型で高輝度な光源装置を提 供する。【解決手段】本開示の光源装置は、 固体光源と、固体光源から出射する青色...  
JP5979693B2  
JP2016525231A
光学コンポーネント(36)の場合、光学素 子(45)がフレーム(43)に横方向(4 4)に固定され、フレーム(43)は、横方 向(44)の光学素子(45)の線膨張...  
JP2016152270A
【課題】複数のランプが最適に配置された露 光装置を提供する。【解決手段】複数のラン プ12で構成されたランプ群11と、複数の ランプ12からの光を受けて、当該光の...  
JP2016151687A
【課題】近接型のプロジェクターへの適用に おいて、広い変倍範囲をカバーし、かつ、高 解像度の画像表示素子にも対応できる投射光 学系を提供すること。【解決手段】第1...  
JP2016525232A
本発明は、特にリソグラフィ微細又はナノ構 造を結像するリソグラフィシステムの光学ア センブリ(100)であって、光学アセンブ リ(100)のビーム経路に連続して配...  
JP2016151688A
【課題】近接型のプロジェクターへの適用に おいて、広い変倍範囲をカバーし、かつ、高 解像度の画像表示素子にも対応できる投射光 学系を提供すること。【解決手段】第1...  
JP2016524182A
本発明は、投影露光システムとリソグラフィ マスクとを用いてウェハ内に構造を作製する ためのシステムに関する。このシステムを用 いてルールに基づくマスク調整を行うこ...  
JP2016524184A
光学コンポーネントが、光学素子(27)の 変位に対する放射の影響を低減する少なくと も1つの手段を備える。【選択図】図5  
JP5967132B2  
JP2016142900A
【課題】照明ムラの発生が低減された照明装 置およびプロジェクターを提供する。【解決 手段】励起光を射出する光源装置と、波長変 換素子と、を備え、励起光によって波長...  
JP2016139143A
【課題】様々な特性を有するマスクパターン を忠実に転写するために必要な適切な照明条 件、たとえば二次光源の光強度分布や偏光状 態などに関して多様性に富んだ照明条件...  
JP2016138961A
【課題】投写光学系を構成するレンズ群にお いて、設置位置のバラツキによる収差の変動 を効率的に抑える投写光学装置、及びこのよ うな投写光学装置を備えたプロジェクタ...  
JP5959342B2  
JP2016133756A
【課題】高輝度かつ高解像度に対応可能であ り、かつ、高画角を達成できる投射光学系を 提供すること。【解決手段】投射光学系40 は、拡大側から順に、nを6又は7とし...  
JP2016130859A
【課題】 照明光学系に用いられて瞳強度分布の強度レ ベルに関する自由度を向上させることのでき る空間光変調ユニット。【解決手段】 光源からの光により被照射面を照明...  
JP2016127226A
[Subject] In the case of exposure, desired temperature distribution is produced inside a pattern field of Reticle . [Means for Solution] Exposure device 100 holds Reticle R which has the pattern field in which a pattern was formed, and i...  
JP5944400B2  
JP2016518619A
A micro lithography device (10) contains an object system (20) containing a penetration filter (42) constituted so that light irradiation distribution in projection Optical path might be corrected variably. A penetration filter (42) cont...  
JP5938335B2  
JP5938707B2  
JP2016109731A
[Subject] In a microscope, irradiation light to a sample is adjusted swiftness and appropriately. [Means for Solution] It has a reflective means including a reflective surface which has a part of shape of an elliptical pipe side, and a d...  
JPWO2014010274A1
基板処理装置(EX)は、照明領域(IR) から発生する反射光束(L2)を基板に向け て投射させて、マスクパターンの像を基板に 結像する投影光学系(PL)と、照明領...  
JP5934082B2  
JP5935852B2  
JP5935920B2  
JP2016105190A
[Subject] A ring light lighting machine which is demarcated clearly and forms a uniform lighting field in lighting area is provided. [Means for Solution] It is a ring light lighting machine which has the light source arranged annularly. ...  
JP2016517026A
An illumination-light study unit (4) for projection lithography functions as illuminating an object recognition field (5) which can arrange an object (7) imaged by illumination light (16). An illumination-light study unit (4) has a view ...  

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