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Document Document Title
JP2016063185A
【課題】大型化を回避し、被照明面を高照度 にかつ均一に照明するのに有利な照明光学装 置を提供する。【解決手段】照明光学装置1 01は、光源1からの光束を用いて被照...  
JP2016061851A
【課題】蛍光を効率良く発生させることがで きる照明装置およびプロジェクターを提供す る。【解決手段】励起光を発する光源と、励 起光を透過させる基板と、光源と基板と...  
JP2016057644A
【課題】光源となる素子数を増やしても、照 明光学系をコンパクトに構成可能な照明光学 系および画像表示装置の提供を目的とする。 【解決手段】照明光学系は、二次元レー...  
JP2016058591A
【課題】光量の損失を抑えつつ、二次光源の 像の形状を容易に所望の輪帯形状や円形状と する照明光学装置を提供する。【解決手段】 照明光学装置12は、光源1からの光束...  
JP2016058165A
【課題】光源装置からの高出力光の進行方向 を安定して高精度に制御することができる照 明装置を提供する。【解決手段】照明装置4 0は、光学素子50と、光学素子上を走...  
JP2016053718A
【課題】マスクを所定の偏光状態の照明光で 照明する際の光量損失を少なくできる照明光 学装置及び投影露光装置を提供する。【解決 手段】レチクルRを照明光ILで照明す...  
JP2016053644A
【課題】 本発明の目的は、漏れ光の影響を抑制するこ とが可能な色分離合成系及びこれを用いた投 射型表示装置を提供することである。【解決 手段】色分離合成系が、各色...  
JP2016510425A
本発明は、ミラー装置によって反射された光 の角度分布を変更する目的のために互いに独 立に調節可能である複数のミラー要素を有す る少なくとも1つのミラー装置(200...  
JP2016510142A
投影レンズの物体平面(OS)に配置された パターンをその像平面に動作波長λ<260 mを有する電磁放射線を用いて結像するた の投影レンズは、物体平面(OS)と...  
JP2016045306A
【課題】輝度ムラを抑制し、かつ光利用効率 が高い面光源装置に使用される光束制御部材 を提供する。【解決手段】光束制御部材は、 第1入射面151、第2入射面152、...  
JP2016042124A
【課題】光量の損失を抑えつつ、照明光の光 線角度分布を変化させることができる照明装 置を提供する。【解決手段】光を出射する光 源2と、光を光入射面から入射し、内部...  
JP2016042122A
【課題】光量の損失を抑えつつ、照明光の光 線角度分布を変化させることができる照明装 置を提供する。【解決手段】光を出射する光 源と、光Lcを光入射面4aから入射し...  
JP2016509691A
放射ビームをリソグラフィ装置内の基板のタ ーゲット部分上に投影するように構成された システムを開示する。システムは、ミラーと 、コントローラとを備える。ミラーは、...  
JP2016042125A
【課題】照度変化の感度を抑えると同時に不 要光による光学性能の劣化及び成形時におけ る離型性の低下を抑えることが難しい。【解 決手段】拡散レンズの射出面を、少なく...  
JP5892499B2  
JP5888622B2  
JP2016039258A
【課題】開口絞りを介した光学性能の調整に 有利な光学装置を提供する。【解決手段】光 学装置100は、光軸上の開口を規定し対向 する2つの端部をそれぞれ有する第1部...  
JP2016039429A
【課題】2つの空間変調素子を直列配置する タイプのプロジェクターであって、投影され る画像の画面内において明部と暗部との境界 が目立たないように制御してモアレの発...  
JP2016035593A
【課題】光源から出力される光の光路内に空 間光変調部材が配置された場合であっても、 光源の高出力化によるデバイスの製造効率の 向上に貢献できる照明光学装置、露光装...  
JP2016035999A
【課題】光源から放射される光束の利用効率 の点で有利な光源装置を提供する。【解決手 段】光源装置100は、所定の大きさを有す る発光領域1aから光束を放射する光源...  
JP5884743B2  
JP5884871B2  
JP5881221B2  
JP5878169B2  
JP2016031403A
【課題】小型の構成で光利用効率を改善する こと【解決手段】光源ユニット10からの光 を変調する液晶パネル40を前記光で照明す る照明光学系20Aは、光源側から光路...  
JP5872639B2  
JP5868492B2  
JP5867576B2  
JP5863974B2  
JP5861897B2  
JP2016026306A
【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向 偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成するこ とのできる照明光学装置を提供する。【解決 手段】照明光学装置は、入射光束に基づ...  
JP2016504631A
本発明は、基板と、前記基板上に適用された 多層構成を備え、該多層構成は極端紫外波長 域(EUV)からの波長λを有する放射に対 る反射効果を有し、且つ、高屈折率層...  
JP5854082B2  
JP5854103B2  
JP5854107B2  
JP2016025316A
【課題】光源に起因する照明の不均一を少な い光学素子で抑制する技術を提供する。【解 決手段】照照明光学素子3は、被照明面であ る標本面SPの所定の領域A1に光を面...  
JP2016021526A
【課題】光量の損失を抑えつつ、二次光源の 像の形状を所望の輪帯形状や円形状とする照 明光学装置を提供する。【解決手段】照明光 学装置100は、集光部2の集光位置ま...  
JP5849727B2  
JP2016502684A
EUV投影リソグラフィのための照明光学ユ ニットは、各々が複数の反射ファセットを支 持体上に有する第1のファセットミラーと第 2のファセットミラーを有する。第1の...  
JPWO2013179977A1
照明装置(IU)は、第1の光源部(21a )と、第1の光源部と光の出射方向が異なる 第2の光源部(21b)と、第1の光源部か らの光と第2の光源部からの光の進行方...  
JP2016502136A
EUVコレクター(15)は、EUV放射線 源(3)からのEUV放射線(14)を照明 遠視野(17a)内に伝達するように機能す る。コレクター(15)は、法線入射の...  
JP2016502233A
照明装置1は、発光窓5と、前記発光窓の反 対側の反射器7とを備えるハウジング3を有 する。光透過性平面担体9が、前記発光窓及 び前記反射器の間に配設され、少なくと...  
JP5845684B2  
JP2016009014A
To provide an illumination device capable of projecting an image that is bright and high in chromatic purity.An illumination light source device according to the present invention comprises: a phosphor 5 which is irradiated by light from...  
JPWO2013179961A1
光伝達損失を低減しつつ、発光素子のビーム の断面形状を整形する。内視鏡用の光源装置 (13)には、レーザダイオード(LD2) を有する発光素子部(71)と、ビーム...  
JP2016500838A
EUV光学装置は、ミラー本体(120)上 に多数の調節可能なミラー(22x)を備え る。各ミラー本体は、可動部品(132、1 34、136)および固定筐体部(12...  
JP5842615B2  
JP5843905B2  
JPWO2013164923A1
撮像用の補助光として適した配光を有する補 助光源ユニット用の光学素子であって、小型 を保ちつつ、十分な光量を確保し、製造が容 易で低コストである光学素子及びそれを...  
JP5835828B2  

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