Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Matches 401 - 450 out of 2,933

Document Document Title
JP2015510654A
本開示は、複数の仮想光源を生成し、少なく とも部分的には光をコリメートするシステム 、方法および装置を提供するものである。1 つの態様では、光をコリメートするマニ...  
JP5696746B2  
JP2015510262A
本発明は光学装置、特にマイクロリソグラフ ィのための投影レンズであって、光学表面( 31a)及び基板(32)を含む少なくとも 1つの光学素子(21)を備え、基板は...  
JP5694362B2  
JP2015057765A
【課題】光学系の構成を複雑化することなく 、均一化照明を実現可能な照明装置を提供す る。【解決手段】照明装置40は、入射され たコヒーレント光を集光する複数の第1...  
JP2015509285A
本発明は、マイクロリソグラフィ投影露光装 置のための光学系及びマイクロリソグラフィ 露光方法に関する。マイクロリソグラフィ投 影露光装置のための光学系は、偏光影響...  
JP5688672B2  
JP5689059B2  
JP5688410B2  
JPWO2013035661A1
基板処理装置は、基板の被処理面にパターン を形成する基板処理装置であって、パターン が形成されたマスクを保持し、回転軸を中心 に回転可能な中空状のマスク保持部と、...  
JP2015055832A
【課題】 空間光変調器を使用した画像形成装置におい て、クロストークを低減させ、より鮮鋭な明 るい画像を得ることができるようにする。【 解決手段】 搬送系2により搬...  
JP2015053449A
【課題】所望の照度分布を実現できる光源装 置を提供する。【解決手段】 光源装置は、給電量が一括制御可能な形態で 配置された複数のLEDを有する第1発光部 と、第1...  
JP5686882B2  
JP2015046604A
【課題】マスクを所定の偏光状態の照明光で 照明する際の光量損失を少なくできる照明光 学装置及び投影露光装置を提供する。【解決 手段】レチクルRを照明光ILで照明す...  
JP2015046601A
【課題】 多様性に富んだ照明条件を実現することがで き、且つ露光装置に適用した場合にデバイス の生産性の向上を達成する。【解決手段】 光源(1)からの光に基づいて...  
JP2015046619A
【課題】マスクを所定の偏光状態の照明光で 照明する際の光量損失を少なくできる照明光 学装置及び投影露光装置を提供する。【解決 手段】レチクルRを照明光ILで照明す...  
JP5682799B2  
JP5684413B2  
JPWO2013018799A1
光量ロスを低減させ、一様な照度分布を持つ 照明を得る照明装置の提供を目的とする。被 照明面を照明する照明装置において、光路を 横切る所定の面上の所定方向に沿って周...  
JP2015038975A
【課題】照明視野にわたる照明強度に目標を 定め、かつ照明角度依存態様で影響を及ぼす ことができる照明光学技術を提供する。【解 決手段】照明光学ユニットは、照明視野...  
JPWO2012169090A1
光源から供給される照明光を用いてレチクル 面を照明する照明方法は、空間光変調器の複 数のミラー要素に対して入射光の反射角を制 御するための駆動信号を設定することと...  
JPWO2012172672A1
蛍光体カラーホイル1が、ガラス基板2と、 ガラス基板2を回転させる回転モーター3と 、ガラス基板2の表面に環状に塗布されてい る蛍光体(第1の蛍光体)5と、を有し...  
JP5673119B2  
JP5670602B2  
JP2015505169A
本発明は、特にマイクロリソグラフィ投影露 光装置における偏光影響光学配置に関する。 本発明の開示の態様により、偏光影響光学配 置は、光学的ポジティブ単軸結晶材料か...  
JP2015031955A
【課題】有効光強度分布を最適化する方法を 提供する。【解決手段】a)z方向に、第一 の強度分布2aの光ビーム1を放出する光源 を提供するステップと、b)x−y平面...  
JP5668780B2  
JP2015029092A
【課題】可能な限り高い反射率を有する極端 紫外波長斜入射用反射光学素子を提供する。 【解決手段】EUVリソグラフィー用光学シ ステムのコレクタミラーに使用される反...  
JP5668779B2  
JP2015029128A
【課題】照明瞳輝度分布の形状、大きさ、お よび偏光状態について多様性に富んだ照明条 件を実現することのできる照明光学装置を提 供する。【解決手段】照明光学装置は、...  
JP2015026644A
【課題】露光する際にチップの位置とマスク のパターンの位置にずれが生じた場合であっ て、良好な露光精度が得られる近接露光装置 及び近接露光方法を提供する。【解決手...  
JP2015503231A
投影露光装置(1)のための照明及び変位デ バイスは、照明視野(18)を照明するため の照明光学ユニット(25)を含む。物体ホ ルダ(17a)は、物体(17)を物体...  
JP5659497B2  
JP5660074B2  
JP2015015281A
To provide a light emitting device capable of suppressing luminance reduction and obtaining high light extraction efficiency.In a light emitting device 10 including a lens 2 and a light emitter 1, the lens is a spherical segment body hav...  
JP5656731B2  
JP2015007774A
To provide a compact lighting device in which light utilization efficiency is improved, to provide a projection type display device provided with the lighting device, and to provide a direct-view display device provided with the lighting...  
JP2015008304A
To provide an illumination optical device which can form an annular pupil distribution in circumferential polarization state, while suppressing light quantity loss well.The illumination optical device includes a light flux conversion ele...  
JP2015005676A
To provide an illuminating optical system by which a pupil intensity distribution at each point on a target illumination face can be adjusted to its required distribution.An illuminating optical system that illuminates a target illuminat...  
JP2015005764A
To provide a spatial light modulation unit that is used in an illuminating optical system and is able to improve the degree of freedom in the intensity level of a pupil intensity distribution.A spatial light modulation unit used in an il...  
JP5650272B2  
JP2014241411A
To provide a mount that has improved accuracy and reproducibility and decreased sensitivity to irregularities from the nominal geometry of an optical element that the mount supports.A mount is configured to mount an optical element in a ...  
JP5646632B2  
JP5646580B2  
JP5644921B2  
JP2014534643A
EUV放射線(14)のためのミラー(20 )は、第1のEUV放射線反射領域と少なく とも1つの第2のEUV放射線反射領域とを 有する全体反射面(24)を含み、EU...  
JP2014239088A
To reduce the effect of a speckle pattern on the surface to be irradiated when light having high coherence is used.Disclosed is an illuminating optical system ILS which irradiates a reticle surface Ra with illumination light IL from a li...  
JP5642385B2  
JP2014236211A
To provide an illuminating device which allows for efficient adjustment of illumination of the illumination light, and to provide an exposure device, an illuminating method and a method of manufacturing a device.An illuminating device in...  
JP2014533441A
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系 は光変調器(38)を含み、その光変調器(38 は、変調器基板(70)と、変調器基板(70) 支持されたミラー(42a,42b,42c)のア...  

Matches 401 - 450 out of 2,933