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Patent Searching and Data


Title:
【発明の名称】微量射出装置及びその操作方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2000509651
Kind Code:
A
Inventors:
ツェンゲルレ ローラント
フライガング ミヒャエル
シュテーエ マンフレート
メスナー シュテファン
アズハウアー マティーアス
ロースベルク ライナー
Application Number:
JP52403198A
Publication Date:
August 02, 2000
Filing Date:
February 05, 1998
Export Citation:
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Assignee:
ハーン-シカルト-ゲゼルシャフト フュア アンゲヴァンテ フォルシュング エー ファオ
International Classes:
G01N1/00; B01L3/00; B01L3/02; B05B9/04; B05B12/00; F04B19/00; F04B43/02; F04B43/04; G01F11/08; G01N35/00; G01N35/10; H01L41/00; C40B60/14; (IPC1-7): B05B12/00; B01L3/02; F04B43/02; G01N1/00; G01N35/10
Attorney, Agent or Firm:
森下 武一