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Patent Searching and Data


Title:
【発明の名称】誘導結合プラズマ堆積で形成された金属膜の均一性を強化する小直径コイル
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2002512310
Kind Code:
A
Inventors:
ゴパルラジャ, プラブラム
クー, ツェン
ホフマン, ラルフ
Application Number:
JP2000545172A
Publication Date:
April 23, 2002
Filing Date:
April 16, 1999
Export Citation:
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Assignee:
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
International Classes:
H05H1/46; C23C14/34; C23C14/40; H01J37/32; H01J37/34; (IPC1-7): C23C14/34; C23C14/40; H01J37/32; H01J37/34; H05H1/46
Attorney, Agent or Firm:
長谷川 芳樹 (外1名)