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Patent Searching and Data


Title:
【発明の名称】マグネトロンにおけるターゲットの腐食とスパッタリングの制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2002512311
Kind Code:
A
Inventors:
デ・ボッシャー,ビルメルト
リーベンス,フーゴ
Application Number:
JP2000545174A
Publication Date:
April 23, 2002
Filing Date:
April 14, 1999
Export Citation:
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Assignee:
シンバコ・ナムローゼ・フエンノートシャップ
International Classes:
C23C14/35; H01J37/34; (IPC1-7): C23C14/35; H01J37/34
Attorney, Agent or Firm:
深見 久郎 (外5名)