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Patent Searching and Data


Title:
【発明の名称】研磨装置および方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2002535151
Kind Code:
A
Inventors:
リチャード・ビンガム
ディビッド・チャールズ・リレイ
Application Number:
JP2000585029A
Publication Date:
October 22, 2002
Filing Date:
December 01, 1999
Export Citation:
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Assignee:
ユニヴァーシティ カレッジ ロンドン
International Classes:
G02B3/00; B24B1/00; B24B7/22; B24B7/24; B24B13/00; B24B13/01; B24B13/015; B24B13/02; B24B17/10; B24B29/00; B24B37/04; B24B41/00; B24B41/04; B24B47/12; B24B51/00; B24D3/06; B24D3/28; B24D3/34; B24D9/04; B24D11/00; B24D13/14; B24D13/20; B24D18/00; (IPC1-7): B24B41/04; B24B13/01; G02B3/00
Attorney, Agent or Firm:
古谷 栄男 (外2名)