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Patent Searching and Data


Title:
アセタールで保護されたポリマーおよびそのフォトレジスト組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2005527673
Kind Code:
A
Inventors:
サンジェイ・マーリク
ステファニー・ジェイ・ディロッカー
ビノード・ビー・デ
Application Number:
JP2004507440A
Publication Date:
September 15, 2005
Filing Date:
May 28, 2003
Export Citation:
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Assignee:
アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
OLIN MICROELECTRONIC CHEMICALS,INC.
International Classes:
C08F2/54; C08F8/00; C08F212/14; C08F232/08; C08K3/00; G03F7/004; G03F7/039; G03F7/075; H01L21/027; (IPC1-7): C08F212/14; C08F232/08; G03F7/039; G03F7/075; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
高木 千嘉
結田 純次
三輪 昭次