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Title:
エステル基を有するフッ素化ポリマー、およびマイクロリソグラフィー用フォトレジスト
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2005532413
Kind Code:
A
Inventors:
アンドリュー イー.フェイリング
ジェラルド フェルドマン
フランク エル.シャドット ザ サード
ゲリー ニュートン テイラー
Application Number:
JP2003542402A
Publication Date:
October 27, 2005
Filing Date:
October 25, 2002
Export Citation:
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Assignee:
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
E.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
International Classes:
C08F214/26; C08F232/08; G03F7/004; G03F7/038; G03F7/039; H01L21/027; (IPC1-7): C08F232/08; C08F214/26; G03F7/004; G03F7/039; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
谷 義一
阿部 和夫