Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
フォトレジストとして有用な縮合4員環状炭素を有する多環式基を有するフッ素化ポリマーおよび微細平版印刷のための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2005535753
Kind Code:
A
Inventors:
アンドリュー イー. フェイリング
フランク エル. シャット ザ サード
ブャチェスラフ アレキサンドロビッチ ペトロフ
ブルース エドムント スマート
ウィリアム ブラウン ファーナム
Application Number:
JP2004527971A
Publication Date:
November 24, 2005
Filing Date:
August 08, 2003
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
E.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
International Classes:
C08F8/00; C08F214/18; C08F214/26; C08F216/12; C08F220/24; C08F232/00; C08F232/08; G03C1/492; G03F7/004; G03F7/038; G03F7/039; H01L21/027; (IPC1-7): C08F232/00; C08F214/18; C08F216/12; G03F7/039; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2002525683A
JP2004512396A2004-04-22
JP2005535709A
JP2003252928A
Attorney, Agent or Firm:
谷 義一
阿部 和夫