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Patent Searching and Data


Title:
フォトレジスト、フルオロポリマーおよび157nm微細平版印刷のための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2005535780
Kind Code:
A
Inventors:
アンドリュー イー. フェイリング
フランク エル. シャット ザ サード
ブャチェスラフ アレキサンドロビッチ ペトロフ
ブルース エドムント スマート
ウィリアム ブラウン ファーナム
Application Number:
JP2004534276A
Publication Date:
November 24, 2005
Filing Date:
August 08, 2003
Export Citation:
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Assignee:
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
E.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
International Classes:
C08F8/00; C08F12/20; C08F214/18; C08F214/26; C08F232/00; C08F232/08; G03F7/00; G03F7/004; G03F7/038; G03F7/039; H01L21/027; (IPC1-7): C08F214/18; C08F232/00; G03F7/00; G03F7/039; H01L21/027
Attorney, Agent or Firm:
谷 義一
阿部 和夫