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Patent Searching and Data


Title:
フォトレジストとして有用なフッ素化ポリマーおよび微細平版印刷のための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2005536589
Kind Code:
A
Inventors:
アンドリュー エドワード フェイリング
フランク エル.シャット ザ サード
ウィリアム ブラウン ファーナム
ジェラルド フェルドマン
Application Number:
JP2004529165A
Publication Date:
December 02, 2005
Filing Date:
August 19, 2003
Export Citation:
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Assignee:
イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
E.I.DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY
International Classes:
C08F8/00; C08F214/18; C08F214/26; C08F232/00; C08F232/08; C08F234/02; G03F7/004; G03F7/039; H01L21/027; (IPC1-7): C08F214/18; C08F232/00; C08F234/02; G03F7/039; H01L21/027
Domestic Patent References:
JP2001209181A2001-08-03
JPH11265067A1999-09-28
JPH11242337A1999-09-07
Foreign References:
WO2000067072A12000-11-09
Attorney, Agent or Firm:
谷 義一
阿部 和夫