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Patent Searching and Data


Title:
局所的なウェーハの温度調節によるウェーハ全体における微細寸法のばらつき補正
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2006519497
Kind Code:
A
Inventors:
ロバート ジェイ ステーガー
Application Number:
JP2006503525A
Publication Date:
August 24, 2006
Filing Date:
February 12, 2004
Export Citation:
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Assignee:
ラム リサーチ コーポレーション
LAM RESEARCH CORPORATION
International Classes:
H01L21/3065; F27B5/14; F27B17/00; F27D19/00; F27D21/00; F27D99/00; H01J37/32; H01L21/00; H01L21/306; H01L
Domestic Patent References:
JP2003017471A
JP2002076103A
JPH1098023A
JPH07201822A
JPH1154482A
JP2003512519A
JPH0845909A
Foreign References:
EP1079428A2
Attorney, Agent or Firm:
正林 真之