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Title:
処理済み物品を乾燥する装置および方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2007508520
Kind Code:
A
Inventors:
ヴィーナー、フェルディナント
ハウフ、ウーベ
ブレーム、クラウス
Application Number:
JP2006534665A
Publication Date:
April 05, 2007
Filing Date:
October 12, 2004
Export Citation:
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Assignee:
アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー
ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH
International Classes:
F26B15/12; F26B21/00; F26B21/10
Domestic Patent References:
JPH076000B21995-01-25
JPH07103517B21995-11-08
JP2000318123A2000-11-21
JPS5131390B21976-09-06
JP2677752B21997-11-17
Foreign References:
US20030136019A12003-07-24
US5044938A1991-09-03
US3863360A1975-02-04
US4017982A1977-04-19
US4910880A1990-03-27
US5396716A1995-03-14
EP1044813A22000-10-18
EP0582920A21994-02-16
Attorney, Agent or Firm:
恩田 博宣
恩田 誠



 
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