イオンビーム中を通過してワークピースをスキャンするための往復駆動装置

Title:

イオンビーム中を通過してワークピースをスキャンするための往復駆動装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2007532008

Kind Code:

A

Inventors:

John Vanderport
John Pollack
Donald W. Berrian

Application Number:

JP2007507433A

Publication Date:

November 08, 2007

Filing Date:

April 05, 2005

Export Citation:

Assignee:

Axcelis Technologies, Inc.

International Classes:

H01L21/265; H01J37/20; H01J37/317; H01L21/00; H01L21/68; H01L21/687; H02K5/24; H02K16/00

Attorney, Agent or Firm:

Calyx
Miyazaki Yoshio
Mitsuo Tateishi
Kaoru Onozuka
Akio Tagami
High Masahiro
Toshio Nakamura
Tsutomu Kato
Yusuke Murakoshi

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