Title:
基板からポリマーを除去するための方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2011517368
Kind Code:
T
Inventors:
Collins Kenneth
Salinas Martin
Sun Jennifer
Duane レングアン
Nguyen Andrew
Hee シャオ ming
Fang Nancy
Hoffmann Daniel Jay
Mary Walter
ユアン ジエ
ユシフ イマド
Lamaism スワミィー Car ティク
Louis Inge
Salinas Martin
Sun Jennifer
Duane レングアン
Nguyen Andrew
Hee シャオ ming
Fang Nancy
Hoffmann Daniel Jay
Mary Walter
ユアン ジエ
ユシフ イマド
Lamaism スワミィー Car ティク
Louis Inge
Application Number:
JP2010548923T
Publication Date:
June 02, 2011
Filing Date:
February 27, 2009
Export Citation:
Assignee:
Applied Materials In condominium lei テッド APPLIED MATERIALS and INCORPORATED
International Classes:
H01L21/3065; H05H1/46
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Anzai