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Patent Searching and Data


Title:
基板を処理する方法、基板及び該方法を行なうための処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2012502491
Kind Code:
A
Inventors:
ハーベルマン,ディルク
Application Number:
JP2011526407A
Publication Date:
January 26, 2012
Filing Date:
September 10, 2009
Export Citation:
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Assignee:
ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
International Classes:
H01L21/304; F26B15/12; H01L21/316; H01L31/04
Domestic Patent References:
JP2004538635A
JPH09503099A
JPH01226159A
JP2004214490A
JPH1140531A
JPH0483340A
Foreign References:
WO2002027775A1
Attorney, Agent or Firm:
青木 篤
石田 敬
古賀 哲次
出野 知
永坂 友康
三間 俊介