Title:
磁気的閉じ込め及びファラデーシールド付き誘導結合型プラズマ源
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2014527685
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマ損失を低減する磁気的閉じ込めと、寄生容量成分を抑えるファラデーシールドとの両方を提供する誘導結合ＲＦプラズマ源を開示する。本誘導結合ＲＦプラズマシステムはＲＦ電源、プラズマチャンバ、永久磁石のアレイ及びアンテナアレイを備える。プラズマチャンバは壁と内部表面及び外部表面を有する誘電体窓とからなり、その内部表面がプラズマチャンバの壁を形成する。平行導電性永久磁石のアレイは電気的に相互接続され且つ誘電体窓内に内部表面に隣接して埋め込まれ、一端でアースに接続される。永久磁石アレイ素子は、マルチカスプ磁場を形成するように、プラズマチャンバ内のプラズマに向かう方向又は離れる方向に交互に磁化される。アンテナアレイはＲＦ電流が循環する平行チューブで構成することができる。
Inventors:
ヴィクター エム バンヴェニスト
スヴェトラーナ ラドヴァノフ
コステル ビロイウ
スヴェトラーナ ラドヴァノフ
コステル ビロイウ
Application Number:
JP2014520297A
Publication Date:
October 16, 2014
Filing Date:
July 12, 2012
Export Citation:
Assignee:
ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド
International Classes:
H05H1/46; C23C16/507; H01L21/205; H01L21/22; H01L21/265; H01L21/3065
Domestic Patent References:
| JP2008128887A | 2008-06-05 | |||
| JPH08203873A | 1996-08-09 | |||
| JPH11251303A | 1999-09-17 | |||
| JPH09266096A | 1997-10-07 |
Foreign References:
| WO2009142016A1 | 2009-11-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Makoto Fukuo
Hiromitsu Ishii
Makoto Fukuo
Hiromitsu Ishii