Title:
コレクター
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2014530509
Kind Code:
A
Abstract:
マイクロリソグラフィのための投影露光装置（１）のためのコレクター（１５）は、第１のフォーカス（２６）から第２のフォーカス（２７）への放射線（１４）の集束中に反射区画が所定の角度スペクトル内の入射角（ｆ）で入射を受けることができるように具現化かつ配置された複数の反射区画（２４）を含む。【選択図】図２
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Inventors:
ゼンガー インゴ
ツィマーマンヨルク
クレーマー ダニエル
ルオフ ヨハネス
マイアー マルティン
シュレゼナーフランク
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ジンガー ヴォルフガング
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Application Number:
JP2014535025A
Publication Date:
November 17, 2014
Filing Date:
October 09, 2012
Export Citation:
Assignee:
カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
International Classes:
H01L21/027; G02B19/00; G03F7/20
Domestic Patent References:
| JP2011522434A | 2011-07-28 | |||
| JP2013506979A | 2013-02-28 | |||
| JP2007027226A | 2007-02-01 | |||
| JPH04363698A | 1992-12-16 |
Foreign References:
| WO2010001015A1 | 2010-01-07 | |||
| WO2011039136A1 | 2011-04-07 | |||
| US20040183031A1 | 2004-09-23 |
Attorney, Agent or Firm:
辻居 Koichi
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
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