Title:
変形可能な膜と強い変形に対する保護とを有する微小機械構造
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2014531034
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、機械的な大きさ又は動的な大きさを測定し或いは検出することを意図する微小機械構造に関し、変形可能な膜（２０）と、支持基板（１０）とを含み、膜（２０）は、第１の部分（２０ａ）と、第１の部分（２０ａ）によって取り囲まれる第２の部分（２０ｂ）とを含み、第２の部分（２０ｂ）は、第１の部分（２０ａ）の厚さ未満の厚さを有し、膜（２０）は、支持基板（１０）より上に懸架され、それによって、自由空間（３０）を定め、微小機械構造は、追加的に、膜（２０）の変形を制限するよう構成される下方当接部（２１）を含み、下方当接部（２１）は、支持基板（１０）より上に配置され、且つ支持基板（１０）から膜（２０）に向かって自由空間（３０）内に延び、下方当接部（２１）は、下方当接部（２１）の平坦な表面から膜（２０）に向かって自由空間（３０）内に延びる小島（１０１−１０８）を含み、小島（１０１−１０８）は、小島と膜の精細な部分（２０ｂ）との間の接触の事態において、小島と膜（２０）の精細な部分（２０ｂ）との間の接触表面が膜（２０）の精細な部分（２０ｂ）の寸法に対して小さいような方法においてレリーフ構造を形成する。
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Inventors:
ブリダ，セバスチャーノ
Application Number:
JP2014537585A
Publication Date:
November 20, 2014
Filing Date:
October 24, 2012
Export Citation:
Assignee:
オキシトロルエス．アー．
International Classes:
G01L19/06; G01L9/00; G01L13/00
Domestic Patent References:
| JPH02203233A | 1990-08-13 |
Foreign References:
| WO2005024370A1 | 2005-03-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki
Hitoshi Nagasaka
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki
Hitoshi Nagasaka