Title:
低CTEインターポーザ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2014531756
Kind Code:
A
Abstract:
相互接続構成要素10は第1の支持部12を含み、各々が第1の表面14に隣接する第1の端部26と第2の表面16に隣接する第2の端部24を有するように支持部の表面に対して実質的に垂直に支持部を貫通して延在する複数の第1の導電性ビア22を有する。第2の支持部30は、各々が第1の表面34に隣接する第1の端部44と第2の表面32に隣接する第2の端部42を有するように支持部の表面に対して実質的に垂直に支持部を貫通して延在する複数の第2の導電性ビア40を有する。再分配層50は、第1の支持部の第2の表面と第2の支持部の第2の表面との間に配置され、第1のビアのうちの少なくとも一部を第2のビアのうちの少なくとも一部と電気的に接続する。第1及び第2の支持部は、12ppm/℃未満のCTEを有することができる。【選択図】図1
Inventors:
ハーバ ベルガセム
デサイ キショール
デサイ キショール
Application Number:
JP2014530832A
Publication Date:
November 27, 2014
Filing Date:
September 14, 2012
Export Citation:
Assignee:
インヴェンサス・コーポレイション
International Classes:
H01L23/12; H01L23/14; H01L23/32; H01L25/04; H01L25/18
Domestic Patent References:
JP2005050883A | 2005-02-24 | |||
JPH08330506A | 1996-12-13 | |||
JPH0469993A | 1992-03-05 |
Foreign References:
US20070194437A1 | 2007-08-23 | |||
US20090200662A1 | 2009-08-13 | |||
US20050133930A1 | 2005-06-23 | |||
WO2010047228A1 | 2010-04-29 | |||
WO2008105496A1 | 2008-09-04 | |||
US20080174001A1 | 2008-07-24 |
Attorney, Agent or Firm:
辻居 Koichi
Sadao Kumakura
Pupil circle 健
Sari Ino
Matsushita 満
Ichiro Kurasawa
Kazumichi Okamoto
Sadao Kumakura
Pupil circle 健
Sari Ino
Matsushita 満
Ichiro Kurasawa
Kazumichi Okamoto