Title:
リソグラフィ装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015517732
Kind Code:
A
Abstract:
リソグラフィ装置は、熱源（ＨＳ；ＣＬ）を含む第１本体（Ｂ１；ＭＯ）と、第２本体（Ｂ２；ＭＥ）と、ヒータデバイス（ＨＤ）と、を備える。第２本体は、第１本体と第２本体との間のギャップ（ＧＡ）を介して第１本体に対向する対向面（ＦＳ）を有する。熱源は、ギャップを介して第２本体へと熱流束を提供するためのものである。ヒータデバイスは対向面に取り付けられる。ヒータデバイスは、前記第２本体にさらなる熱流束を提供するように構成される。【選択図】図３
Inventors:
Koevots, Adrianus, Hendrick
Cadet, Theodorus, Petrus, Maria
Shin, Halmate
Cadet, Theodorus, Petrus, Maria
Shin, Halmate
Application Number:
JP2015510747A
Publication Date:
June 22, 2015
Filing Date:
May 02, 2013
Export Citation:
Assignee:
AS M Netherlands B.V.
International Classes:
H01L21/027; H01L21/68
Domestic Patent References:
| JP2006287014A | 2006-10-19 | |||
| JPH05190428A | 1993-07-30 | |||
| JPH05335219A | 1993-12-17 | |||
| JP2006024050A | 2006-01-26 | |||
| JP2003009503A | 2003-01-10 | |||
| JP2013012718A | 2013-01-17 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Toshifumi Onuki