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Title:
磁歪材料を含む光学素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015519736
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、基板(30)及び反射コーティング(31)を有する、光学素子(21)に関するものである。反射コーティング(31)は、特にEUV照射を反射するように構成されており、高屈折率(層)材料及び低屈折率(層)材料からなる交互層(33a、33b)を有する複数の層ペアであって、磁歪材料からなる少なくとも一つの活性層(34)を反射コーティング(31)内に備える。本発明は、基板(30)及び反射コーティング(31)を有する光学素子(21)にも関し、かかる光学素子(21)は、正磁歪特性を有する材料を含む少なくとも一層の第1活性層と、負磁歪特性を有する材料を含む少なくとも一層の第2活性層とを備え、これらの活性層の層厚及び層材料は、磁界により生じる活性層における機械的応力の変化又は長さの変化が相殺されるように選択されることを特徴とする。さらに、本発明は、そのような光学素子(21)を少なくとも一つ含む光学装置、具体的にはEUVリソグラフィー装置にも関するものである。【選択図】図3

Inventors:
Peter Hoover
Oliver Deal
Application Number:
JP2015507427A
Publication Date:
July 09, 2015
Filing Date:
March 14, 2013
Export Citation:
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Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
H01L21/027; G02B5/08; G02B5/10; G02B19/00; G03F7/20
Domestic Patent References:
JP2007335444A2007-12-27
JP2013536988A2013-09-26
JP2010256305A2010-11-11
Foreign References:
WO2007033964A12007-03-29
US20060018045A12006-01-26
US4663607A1987-05-05
WO2005086209A12005-09-15
WO2005045814A12005-05-19
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Groundwork Kenichi
Yamato Okano