Title:
ワークピースを加工するための方法及び装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015520030
Kind Code:
A
Abstract:
ワークピースを加工するための装置は、内部でワークピースを加工可能な加工領域を有する加工ツールと、加工領域内に検出光を照射するように構成された照明システムとを含むものとして例示的に特徴付けることができる。この実施形態では、照明システムによって照射可能な検出光は、ワークピースが少なくとも部分的に不透明となる波長を有している。さらに、この装置は、加工領域を通過する検出光の特性を検出するように構成されたイメージセンサと、ワークピースの少なくとも一部を加工領域内に位置させて検出光で照らすことができるようにワークピースを支持するように構成されたチャックとを含んでいてもよい。また、ワークピースを加工する方法が開示される。
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Inventors:
Frankel, Joseph, Gee
Application Number:
JP2015514995A
Publication Date:
July 16, 2015
Filing Date:
April 08, 2013
Export Citation:
Assignee:
Electro Scientific Industries, Inc.
International Classes:
B23K26/00; B23K26/082; B23K26/364; B23K26/38; B23K26/382; B23K26/386; G01N21/956
Attorney, Agent or Firm:
Tomohiro Mori
Hiromitsu Kuwahara
Hiromitsu Kuwahara