Title:
熱電熱交換システムに関するシステムおよび方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015521272
Kind Code:
A
Abstract:
本開示の実施形態は、複数の熱電冷却器（ＴＥＣ）を制御して、チャンバーの設定点温度を維持することに関する。一実施形態では、コントローラは、チャンバーの温度に対応する温度データを受信する。温度データに基づいて、コントローラは、２つまたは３つ以上のＴＥＣのサブセットを選択的に制御して、チャンバーの温度を所望の設定点温度に維持する。このようにして、コントローラは、ＴＥＣが効率的にチャンバーの温度を設定点温度に維持するようにＴＥＣを動作するように制御可能とされる。別の実施形態では、コントローラは、温度データおよび所望の成績特性に基づいて、コントローラによって可能とされた１つまたは２つ以上の制御スキームを選択する。次いで、コントローラは、選択された制御スキーム（複数可）にしたがって、１つまたは２つ以上のＴＥＣのサブセットを独立に制御する。【選択図】図１
Inventors:
Edwards, Jessie, W.
Terien, Robert, Joseph
Jun, M., Shane
Yadav, Abhishek
Summers, III, James, Burton
Terien, Robert, Joseph
Jun, M., Shane
Yadav, Abhishek
Summers, III, James, Burton
Application Number:
JP2015511623A
Publication Date:
July 27, 2015
Filing Date:
May 07, 2013
Export Citation:
Assignee:
Phononic Devices, Inc.
International Classes:
F25B21/02; F28D15/02; H01L35/28; H01L35/30
Domestic Patent References:
| JPH04126973A | 1992-04-27 | |||
| JP2001330339A | 2001-11-30 | |||
| JP2006073628A | 2006-03-16 | |||
| JP2007113805A | 2007-05-10 | |||
| JP2789788B2 | 1998-08-20 | |||
| JP3191609B2 | 2001-07-23 | |||
| JPH08303919A | 1996-11-22 | |||
| JP2003204087A | 2003-07-18 | |||
| JP2008244384A | 2008-10-09 | |||
| JP2006090633A | 2006-04-06 | |||
| JP2008514895A | 2008-05-08 | |||
| JP2015522943A | 2015-08-06 | |||
| JP3423172B2 | 2003-07-07 |
Foreign References:
| US20080236175A1 | 2008-10-02 | |||
| WO2009003893A2 | 2009-01-08 | |||
| US20110241153A1 | 2011-10-06 |
Attorney, Agent or Firm:
Eichi International Patent Office