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Title:
プラズマを生成してターゲットの方へ電子ビームを向けるための装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015529932
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマを生成するためのおよびターゲット(3)の方へ電子ビームを向けるための装置(2;2I;2II;2IV;2V;2VI;2VII;2VIII)であって;この装置(2;2I;2II;2IV;2V;2VI;2VII;2VIII)が、中空要素(5);中空要素(5)とそれとは別である別の要素との間に、前記別々の要素の方へ電子ビームを向けるような方法で電位の差異を賦課するように設計されている活性化群(21);および、別々の要素の方へテーパをつけられる少なくとも1つのテーパ状部分(13)を有し、かつ別々の要素の方へガスフローを加速するように設計されているドラバルノズル(23)を備える装置。【選択図】図1

Inventors:
スコックドポロバ, リビュース (Italy I 40129 ボログナ, beer F. Lee サービ 21)
Application Number:
JP2015515644A
Publication Date:
October 08, 2015
Filing Date:
June 11, 2013
Export Citation:
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Assignee:
ノイヴィオン S. R. El. (Italy I 38068 ロベレト (Trent), pizza マニファッチュラ 1)
International Classes:
H01J37/077; B23K15/00; C23C14/30
Domestic Patent References:
JPH0620639A1994-01-28
JP2005268186A2005-09-29
JPS4327924B
JP2005285675A2005-10-13
Foreign References:
WO2012025947A12012-03-01
US4728862A1988-03-01
Other References:
NAKAGAWA Y: "PRODUCTION OF PULSE HIGH DENSITY ELECTRON BEAM BY CHANNEL SPARK DISCHARGE", TRANSACTIONS OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN, PART A INST. ELECTR. ENG. JAPAN, vol. V120-A N4, JPN5012011850, April 2000 (2000-04-01), JP, pages 91 - 397
Attorney, Agent or Firm:
Toshio Yoshikawa
Ichikawa 寛奈