Title:
ＤＢＤプラズマ設備における基板損傷を防止するための装置及びプロセス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015531431
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、誘電体バリア放電（ＤＢＤ）による表面処理用の設備における基板損傷を防止するためのプロセスと、かかるプロセスを実行するための表面処理ＤＢＤ設備と、に関する。本発明は、− 電極の端子における電圧の振幅及び前記電極間を循環する電流の振幅を検出するステップと、− 前記基板における消散エネルギーとして５０ジュールを超えないために、高温電気アークが存在する状態で電極の端子における電圧の最大交番回数（ｎ最大数）を定義するステップと、− 高温電気アークが、前記電極間に現れる場合に、電極の端子における電圧の定義された最大交番回数に達する前に、前記電極の端子における電圧を負のフィードバックで変更するステップと、を含む。【選択図】図１
Inventors:
Eric Tixon
Lukleruk, Joseph
Michelle, Eric
Lukleruk, Joseph
Michelle, Eric
Application Number:
JP2015521123A
Publication Date:
November 02, 2015
Filing Date:
July 09, 2013
Export Citation:
Assignee:
Asahi Glass Co., Ltd.
International Classes:
C23C16/505; C23C16/52; H05H1/00; H05H1/24
Domestic Patent References:
| JP4510882B2 | 2010-07-28 | |||
| JP2012102377A | 2012-05-31 | |||
| JP2004134376A | 2004-04-30 | |||
| JP2011528165A | 2011-11-10 | |||
| JP4510882B2 | 2010-07-28 | |||
| JP2012102377A | 2012-05-31 | |||
| JP2004134376A | 2004-04-30 |
Foreign References:
| US20090291235A1 | 2009-11-26 | |||
| US20090291235A1 | 2009-11-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Nobuaki Kazehaya
Noriko Asano
Noriko Asano