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Patent Searching and Data


Title:
傾斜ミリング保護のためのバルク付着
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015533256
Kind Code:
A
Abstract:
観察のために集束イオン・ビームによって露出させた表面のアーチファクトを低減させるため、関心領域の隣にトレンチをミリングし、このトレンチに充填を実施してバルクヘッドを形成する。このバルクヘッドを通してイオン・ビームを導いて、観察のために関心領域の一部分を露出させる。このトレンチは、例えば荷電粒子ビーム誘起付着によって充填される。このトレンチは通常、上面から下方へミリングおよび充填され、次いで、イオン・ビームが試料表面に対して斜めに導かれて、関心領域を露出させる。

Inventors:
Stacey Stone (American 97006 Oregon Beaver ton S W Sosa Place 795)
Sun Phung Lee (American 97124 Oregon Hills Bala NE オレンコ station parkway #D320 1053)
Jeffrey blackwood (American 97206 Oregon Portland SE No. 75 avenue 3203)
Michael Schmidt (American 97080 Oregon Gresham SE ハチェンダ rain 1003)
Application Number:
JP2015535869A
Publication Date:
November 19, 2015
Filing Date:
October 07, 2013
Export Citation:
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Assignee:
F イ * and an eye company (American Oregon 97124, Hills Bala, northeast Dawson Creek drive 5350)
International Classes:
H01J37/317; B23K15/00; G01N1/28; H01J37/28
Domestic Patent References:
JP2006228593A2006-08-31
Foreign References:
US20120112063A12012-05-10
Attorney, Agent or Firm:
Masahiko Amegai