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Title:
ガス含有間隙を含むMEMS固定コンデンサー及び前記コンデンサーを製造するための方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015535393
Kind Code:
A
Abstract:
MEMS固定コンデンサー(1)は、基板(S)の上に形成された下部金属電極(3)、下部金属電極の上に金属支柱(5)によって支持された上部金属電極(2)、及び前記上部金属電極(2)と前記下部金属電極(3)の間に非固体誘電体層を形成するガス含有間隙(4)を含み、前記上部金属電極(2)と前記下部金属電極(3)の間の距離(D)が1μm以下であり、前記上部金属電極(2)の厚さ(E)が1μm以上である。【選択図】図2

Inventors:
パヴァジョー, クリストフ
Application Number:
JP2015538439A
Publication Date:
December 10, 2015
Filing Date:
October 24, 2013
Export Citation:
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Assignee:
デルフメムズ
International Classes:
H01G5/16; B81B1/00; B81C1/00
Attorney, Agent or Firm:
風早 信昭
浅野 典子