Title:
加圧可能チャンバを作動させるための装置、システム、及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016500795
Kind Code:
A
Abstract:
目標位置に加圧ガスを制御自在に提供するための空気圧式制御装置が開示されている。空気圧式制御装置は、本体と、本体の下部に結合される第１の膜とを備えるエラストマーマニホールドを含むことができる。本体及び第１の膜は、第１の入口、第１の出口、及び吐出し口を有する第１の統合流路を形成することができ、第１の統合流路は第１の入口で第１の圧力の加圧ガスを受け取り、第１の出口に加圧ガスを提供するように構成される。また、本体は、加圧ガスの昇圧に耐えるほど十分な剛性も有する。また、空気圧式制御装置は、第１の統合流路内の加圧ガスの流れを制御するために第１の構成から第２の構成へ第１の膜を変化させるように構成されたアクチュエータを含むことができる。【選択図】図３
Inventors:
Bobak Mossadegu
George M. White size
George M. White size
Application Number:
JP2015538134A
Publication Date:
January 14, 2016
Filing Date:
October 22, 2013
Export Citation:
Assignee:
PRESIDENT AND FELLOWS OFHARVARD COLLEGE
International Classes:
F15B11/00; F15B11/06; F15B15/10; F16K7/14; F16K27/00; G05D16/20
Attorney, Agent or Firm:
Mitsuo Tanaka
Hiroshi Yamazaki
Tsuyoshi Sato
Hiroshi Yamazaki
Tsuyoshi Sato