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Title:
加圧可能チャンバを作動させるための装置、システム、及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016500795
Kind Code:
A
Abstract:
目標位置に加圧ガスを制御自在に提供するための空気圧式制御装置が開示されている。空気圧式制御装置は、本体と、本体の下部に結合される第1の膜とを備えるエラストマーマニホールドを含むことができる。本体及び第1の膜は、第1の入口、第1の出口、及び吐出し口を有する第1の統合流路を形成することができ、第1の統合流路は第1の入口で第1の圧力の加圧ガスを受け取り、第1の出口に加圧ガスを提供するように構成される。また、本体は、加圧ガスの昇圧に耐えるほど十分な剛性も有する。また、空気圧式制御装置は、第1の統合流路内の加圧ガスの流れを制御するために第1の構成から第2の構成へ第1の膜を変化させるように構成されたアクチュエータを含むことができる。【選択図】図3

Inventors:
ボバク・モサデグ
ジョージ・エム・ホワイトサイズ
Application Number:
JP2015538134A
Publication Date:
January 14, 2016
Filing Date:
October 22, 2013
Export Citation:
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Assignee:
プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ
International Classes:
F15B11/00; F15B11/06; F15B15/10; F16K7/14; F16K27/00; G05D16/20
Attorney, Agent or Firm:
田中 光雄
山崎 宏
佐藤 剛