Title:
ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016502684
Kind Code:
A
Abstract:
ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、各々が複数の反射ファセットを支持体上に有する第１のファセットミラーと第２のファセットミラーを有する。第１のファセットミラーのファセットは、様々な傾斜位置間で切り換えることができる。各傾斜位置では、傾斜可能な第１のファセットは、第２のファセット（１１）にこの第２のファセット（１１）の方向にＥＵＶ放射線を偏向させるように割り当てられる。第１のファセット（７）の各々は、その傾斜位置によって第２のファセット（１１）のセット（ＡＡＡ，ａａａ．．．）に割り当てられる。第２のファセットミラーは、第１の視野ファセット（７）を通じた入射を受ける第２のファセット（１１）の配置分布が照明視野の照明の照明角度分布をもたらすように配置される。第２のファセット（１１）のセット（ＹＹＹＹ）の各々に属する第２のファセット（１１）は、第２のファセットミラー（１０）上の円（２８）内に位置し、その円の直径は、第２のファセットミラー（１０）上の全ての第２のファセット（１１）の全体配置の全径（ＧＤ）の７０％よりも小さい。これは、様々な指定の照明設定間の変更が殆ど費用を伴わずに可能である照明光学ユニットをもたらす。【選択図】図１９
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Inventors:
Fisher thomas
Application Number:
JP2015542201A
Publication Date:
January 28, 2016
Filing Date:
October 28, 2013
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00
Domestic Patent References:
| JP2011124584A | 2011-06-23 | |||
| JP2011228698A | 2011-11-10 | |||
| JP2005524236A | 2005-08-11 | |||
| JP2007138805A | 2007-06-07 |
Foreign References:
| WO2011080019A1 | 2011-07-07 | |||
| US20110141445A1 | 2011-06-16 | |||
| US20110228244A1 | 2011-09-22 | |||
| US20050174650A1 | 2005-08-11 | |||
| WO2010145959A1 | 2010-12-23 | |||
| US20120105818A1 | 2012-05-03 | |||
| US20120262690A1 | 2012-10-18 | |||
| US20070273859A1 | 2007-11-29 | |||
| WO2010003527A1 | 2010-01-14 |
Attorney, Agent or Firm:
Koichi Tsujii
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takaki Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura