Title:
基板プロセスチャンバのためのフィン付きシャッターディスク
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016509131
Kind Code:
A
Abstract:
プロセスチャンバで使用されるシャッターディスクが本明細書で提供される。一部の実施形態では、プロセスチャンバで使用されるシャッターディスクは、外周部を有する本体と、本体の上面であって、実質的に水平の平面を有する中心部、ならびにそれぞれが頂部部分、および外周部に向かって頂部部分から放射状に外方向に下向きの角度で配置された角度付けされた表面を有する、中心部の外側に放射状に配置された少なくとも１つの角度付けされた構造を含む、上面と、本体の底面とを含むことができる。【選択図】図１
Inventors:
Cheer bonnie tea
Soo Sung-Moon
Tsai Chen-Shon Matthew
Dinsmore robert
Mori Glen Tea
Soo Sung-Moon
Tsai Chen-Shon Matthew
Dinsmore robert
Mori Glen Tea
Application Number:
JP2015553732A
Publication Date:
March 24, 2016
Filing Date:
December 17, 2013
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C14/34; C23C14/00; H01L21/02
Domestic Patent References:
| JPH10110267A | 1998-04-28 | |||
| JPH1088337A | 1998-04-07 | |||
| JP2003027225A | 2003-01-29 | |||
| JPS6237369A | 1987-02-18 | |||
| JP2005200682A | 2005-07-28 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Nobuhiko Suzuki
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Nobuhiko Suzuki