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Title:
力作動式制御バルブ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016509167
Kind Code:
A
Abstract:
開示の実施形態は、ナイフエッジシートを備える直動式ソレノイドバルブ又はパイロット作動式ベローズバルブ等の力作動式変調制御バルブを含み、このシートの計量位置はちょうど外径のところにあるようになっている。1つの実施形態において、計量縁部の外側のバルブシートの一部は、高速の流体流との接触を低減するように実質的に外径に対して取り除かれている。或る特定の実施形態において、流れシールドはシートの計量縁部のすぐ外側に配置することができ、高速の流体がスプール組立体の部分に向かって循環することが防止される。いくつかの実施形態において、流れシールドは、器具の本体に固定することができ、全ての流体の力がこの本体に伝達されるようになっている。力作動式変調制御バルブの実施形態は、流体流量を制御する質量流量制御器において使用することができる。

Inventors:
Brad G. Carmen
Robert W. Altonge
Joseph C. Dill
Stephen Earl Clammer
Application Number:
JP2015551839A
Publication Date:
March 24, 2016
Filing Date:
January 07, 2014
Export Citation:
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Assignee:
Illinois Tours Works Inc.
International Classes:
F16K47/02; F16K1/36; G01F1/00; G05D7/06
Domestic Patent References:
JP2008223954A2008-09-25
JP2008504182A2008-02-14
JPS59140968A1984-08-13
Foreign References:
US5159951A1992-11-03
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Tetsuro Shimada
Shinji Mitsuhashi
Yasushi Ohashi
Koichi Ito
Takuya Shinoda