Title:
光学コンポーネント
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016525231
Kind Code:
A
Abstract:
光学コンポーネント（３６）の場合、光学素子（４５）がフレーム（４３）に横方向（４４）に固定され、フレーム（４３）は、横方向（４４）の光学素子（４５）の線膨張が最大１％である場合でも、横方向（４４）の線膨張が０．０１％以下、特に０．００１％以下、特に０．０００１％以下であるよう具現される。
Inventors:
Johannes Eisenmenger
Application Number:
JP2016526527A
Publication Date:
August 22, 2016
Filing Date:
July 07, 2014
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00
Domestic Patent References:
| JP2011109128A | 2011-06-02 | |||
| JP2004103773A | 2004-04-02 | |||
| JP2013526044A | 2013-06-20 | |||
| JP2007027212A | 2007-02-01 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Groundwork Kenichi
Makoto Fukuo
Groundwork Kenichi
Makoto Fukuo