Title:
光学変位センサ素子
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016529480
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、第１の少なくとも部分的に反射性の表面と、回折パターンを有する第２の表面と、を含む光学変位センサに関し、表面が、素子間の距離が可変である素子上に提供され、各表面対が、それらの間にキャビティを画定する。センサはさらに、少なくとも１つの選択された波長レンジの光をキャビティに伝達する少なくとも１つの光源と、キャビティからの光を受け取る少なくとも１つの光検出器と、を含み、回折パターンが、光を、回折表面に対して既知の位置に提供された少なくとも１つの検出器に向けるように適合される。
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Inventors:
Matthew Lacore
Eve-Rene Johansen
Thor Bucke
Ole-Herman Byul
Eve-Rene Johansen
Thor Bucke
Ole-Herman Byul
Application Number:
JP2016520508A
Publication Date:
September 23, 2016
Filing Date:
June 20, 2014
Export Citation:
Assignee:
Synteph Tio Aksell Scabet
International Classes:
G01B11/00; H04R23/00
Domestic Patent References:
| JP2010210708A | 2010-09-24 | |||
| JPS6064215A | 1985-04-12 | |||
| JP2002148018A | 2002-05-22 | |||
| JPH06300520A | 1994-10-28 |
Foreign References:
| US20050018541A1 | 2005-01-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe