Title:
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016541021
Kind Code:
A
Abstract:
マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の照明系は、空間分解方式で入射光を透過又は反射する空間光変調器（５２）上に光を向ける瞳形成ユニット（３６）を含む。対物系（５８）は、光射出面（５７）上の物体区域（１１０）の像（１１０’）が光入射ファセットのうちの１つと完全に一致するように空間光変調器（５２）の光射出面（５７）を光学インテグレーター（６０）の光入射ファセット（７５）上に結像する。瞳形成ユニット（３６）及び空間光変調器（５２）は、物体区域（１１０）が瞳形成ユニット（３６）によって完全に照明され、かつ物体区域（１１０）内の点に関連付けられた投影光が光入射ファセット（７５）のうちの１つの上に入射することが少なくとも部分的かつ可変的に阻止されるように制御される。【選択図】図１１
Inventors:
Degunter Marx
Davidenko Vladimir
Kolb Thomas
Shresener Frank
Hilt stephanie
Hogel wolfgang
Davidenko Vladimir
Kolb Thomas
Shresener Frank
Hilt stephanie
Hogel wolfgang
Application Number:
JP2016533545A
Publication Date:
December 28, 2016
Filing Date:
November 13, 2014
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00; G02B26/02
Domestic Patent References:
| JP2009124139A | 2009-06-04 | |||
| JP2002222757A | 2002-08-09 | |||
| JP2009527112A | 2009-07-23 |
Foreign References:
| WO2012100791A1 | 2012-08-02 | |||
| WO2002075440A1 | 2002-09-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Yoshinori Kishi