Title:
磁石アレイ及び磁気浮上平面モータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017502646
Kind Code:
A
Abstract:
磁石アレイ（１００）及び磁気浮上平面モータを提供する。該磁石アレイは、一次元ハルバッハ磁石アレイ（１２０、１３０）と二次元ハルバッハ磁石アレイ（１１０）とを含み、一次元ハルバッハ磁石アレイと二次元ハルバッハ磁石アレイとによって四角形の磁石アレイが構成され、二次元ハルバッハ磁石アレイは該四角形の磁石アレイの一本の対角線の両端の位置にそれぞれ配置される。該磁石アレイは、二次元ハルバッハ磁石アレイと一次元ハルバッハ磁石アレイとを相互に結合する方式を採用することで、同等サイズのシンプルな一次元磁石アレイに比べ、磁気浮上平面モータの推力定数が増加する。
Inventors:
Jean, Lynn
Chii, Feng
Chin, Chin Shen
Dan, Subin
Ryu, Shaoff
Chii, Feng
Chin, Chin Shen
Dan, Subin
Ryu, Shaoff
Application Number:
JP2016561061A
Publication Date:
January 19, 2017
Filing Date:
December 12, 2014
Export Citation:
Assignee:
Shanghai Micro Electronics Equipment Company Limited
International Classes:
H02K41/03
Domestic Patent References:
| JP2004254489A | 2004-09-09 | |||
| JP2012505622A | 2012-03-01 | |||
| JP2004363606A | 2004-12-24 | |||
| JP2002524009A | 2002-07-30 | |||
| JP2007312449A | 2007-11-29 |
Foreign References:
| WO2013059934A1 | 2013-05-02 | |||
| WO2011009397A1 | 2011-01-27 | |||
| US6285097B1 | 2001-09-04 | |||
| US20040126907A1 | 2004-07-01 |
Other References:
YASUHITO UEDA AND HIROYUKI OHSAKI: "A Planar Actuator with a Small Mover Traveling Over Large Yaw and Translational Displacements", IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS, VOL. 44, NO.5, MAY 2008, JPN6017013654, May 2008 (2008-05-01), US, pages 609 - 611, ISSN: 0003540339
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Oue