Title:
投影リソグラフィのための照明光学ユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017507356
Kind Code:
A
Abstract:
投影リソグラフィのための照明光学ユニットは、物体視野を照明するように機能する。ここで、第１の伝達光学ユニットは、光源から発する照明光を案内するように機能する。第１の伝達光学ユニットの下流には照明事前決定ファセットミラーが配置され、このファセットミラーは、複数の照明事前決定ファセットを含む。このファセットミラーは、照明される照明事前決定ファセットの配置を用いて物体視野の予め決められた照明を発生させる。これは、物体視野内の照明角度分布を予め決定する照明光学ユニットの照明瞳の照明をもたらす。照明瞳は、円形形態から偏位した包絡線を有する。照明瞳は、行単位(Ｚ)及び／又は列単位(Ｓ)の方式で配置されて存在する複数の部分瞳領域(３０)に再分割される。これは、物体視野を像視野に結像するために照明光学ユニットの下流に配置された投影光学ユニットの可能な限り完全に充填された射出瞳を有する照明光学ユニットをもたらす。【選択図】図１４
Inventors:
Endless Martin
Application Number:
JP2016553335A
Publication Date:
March 16, 2017
Filing Date:
February 16, 2015
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00
Domestic Patent References:
| JP2013541729A | 2013-11-14 | |||
| JP2011512659A | 2011-04-21 | |||
| JP2008135743A | 2008-06-12 | |||
| JP2007288188A | 2007-11-01 | |||
| JP2001051199A | 2001-02-23 | |||
| JPH097940A | 1997-01-10 |
Foreign References:
| WO2011065374A1 | 2011-06-03 | |||
| WO2011125827A1 | 2011-10-13 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
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