Title:
スピンコーティングにおける欠陥制御のためのカバープレート
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017508616
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書で開示される技術は、ウインドマークの形成と流体乱流による他の欠陥を防止する、スピンコーティング装置及び方法を提供し、それにより、膜均一性を維持しつつ、回転速度をより大きくし、乾燥時間を縮めることが可能になる。本明細書で開示される技術は、ウェハ又は他の基板の表面の上方で位置決めされた、又は懸下された、リング又はカバー等の流体フロー部材を含む。流体フロー部材は、コーティング・スピン乾燥処理時のウェハの回転時にウインドマークを防止する径方向の曲がり具合を有する。
Inventors:
Bazette, Derek, W
Prinz, Wallace, Pea
Fugue, Joshua, Es
Katsunori Ichino
Yuichi Terashita
Kosuke Yoshihara
Prinz, Wallace, Pea
Fugue, Joshua, Es
Katsunori Ichino
Yuichi Terashita
Kosuke Yoshihara
Application Number:
JP2016570760A
Publication Date:
March 30, 2017
Filing Date:
February 24, 2014
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド
トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド
International Classes:
B05C11/08; B05D1/40; B05D7/00; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JPH07308625A | 1995-11-28 | |||
| JPS6376431A | 1988-04-06 | |||
| JPH11345763A | 1999-12-14 | |||
| JP2001179160A | 2001-07-03 | |||
| JPH0871484A | 1996-03-19 | |||
| JPH0248066A | 1990-02-16 | |||
| JPH0910658A | 1997-01-14 | |||
| JPH05283331A | 1993-10-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki