Title:
多ミラー配置内の複数の調節可能ミラー要素の位置決めを制御するためのデバイス及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017515166
Kind Code:
A
Abstract:
複数の変位可能ミラー要素の位置決めを制御するために、制御式変位自由度当たり少なくとも１ｋＨｚの帯域幅を有するデータチャネルを通じて多ミラー配置（２２）に接続された外部制御設備（６４）を提供する。【選択図】図５
Inventors:
Horn Yang
Holtz Marx
Specht Jörg
Eisenmenger Johannes
Krone Stephan
Holtz Marx
Specht Jörg
Eisenmenger Johannes
Krone Stephan
Application Number:
JP2017507071A
Publication Date:
June 08, 2017
Filing Date:
April 20, 2015
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
G03F7/20; G02B19/00; G02B26/08
Domestic Patent References:
| JP2010518595A | 2010-05-27 | |||
| JP2009514011A | 2009-04-02 | |||
| JP2009272683A | 2009-11-19 | |||
| JP2009514012A | 2009-04-02 |
Foreign References:
| WO2013120926A1 | 2013-08-22 | |||
| WO2013120927A2 | 2013-08-22 | |||
| WO2014053659A1 | 2014-04-10 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Fumiaki Otsuka
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Hiroshi Oura