糸状コンポーネントの表面処理または被覆を実行するための電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）の場におけるマイクロ波エネルギーによってエネルギーを付与されたプラズマを発生するためのプロセス及びデバイス

Title:

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2017517638

Kind Code:

A

Abstract:

本プロセスによれば、糸状コンポーネントが、互いに対向し、処理チャンバーを構成するチューブの周囲に配置された磁気ダイポールを連続的かつ線形的に通過し、マイクロ波エネルギーが少なくとも２つの磁気ダイポールの間に導入される。

Inventors:

Olivier Brandene
Thierry Leon Lagarde
Patrick Shoquet
David Dodai

Application Number:

JP2017503078A

Publication Date:

June 29, 2017

Filing Date:

March 26, 2015

Export Citation:

Assignee:

Ash W F
Luxembourg Institute of Science and Technology (El Aiesti)

International Classes:

C23C16/511; B08B7/00; H05H1/46

Domestic Patent References:

Foreign References:

Attorney, Agent or Firm:

Yasuhiko Murayama
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe

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