Title:
遠心除去装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017524120
Kind Code:
A
Abstract:
除去装置及び方法を開示する。半導体処理ツールからの廃物流れを処理するための除去装置は、廃物流れを燃焼させて燃焼廃物流れを提供し、かつ燃焼廃物流れを水で処理して燃焼粒子及び水と共に処理流体を含む第１段処理廃物流れを提供するように作動可能な第１の処理段と、入口で第１段処理廃物流れを受け入れ、かつ第２段処理廃物流れとして処理流体出口で提供される処理流体から燃焼粒子及び水の少なくとも一部を遠心分離するように作動可能な第２の処理段とを含む。このようにして、粒子及び水は、不便な電気集塵装置の必要なく燃焼廃物流れから効果的に除去することができる。代わりに、第２の処理段は、より小さいフットプリント内の改良された粒子捕捉を提供する。同じく、水の利用は、粒子を処理流体から別々に保持するのを補助する。【選択図】図１Ａ
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Inventors:
Sealy Andrew James
Application Number:
JP2017503884A
Publication Date:
August 24, 2017
Filing Date:
July 20, 2015
Export Citation:
Assignee:
Edwards Limited
International Classes:
F23J15/04; B01D45/12; B04B5/12; B04B15/00; B04B15/02; H01L21/205
Domestic Patent References:
| JP2008519959A | 2008-06-12 | |||
| JPH1162553A | 1999-03-05 | |||
| JPS61167917U | 1986-10-18 | |||
| JP3124360U | 2006-08-17 | |||
| JPH0268414A | 1990-03-07 | |||
| JPS5079970A | 1975-06-28 | |||
| JP2009008333A | 2009-01-15 | |||
| JP2008161861A | 2008-07-17 | |||
| JP2005500501A | 2005-01-06 |
Foreign References:
| EP0694735A1 | 1996-01-31 |
Attorney, Agent or Firm:
Takaki Nishijima
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yamamoto Kousuke
Disciple Maru Ken
Shinichiro Tanaka
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yamamoto Kousuke