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Title:
統合微小電気機械スイッチおよびその関連方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017527949
Kind Code:
A
Abstract:
システムが、互いに結合された、複数のゲートを含む複数の微小電気機械スイッチを含む。各微小電気機械スイッチは、基板上に配設されたビーム電極を含む。ビームが、ビーム電極に結合されたアンカー部分を含む。ビームは、第１の方向に沿ってアンカー部分から延びる第１のビーム部分と、第１の方向に対向する第２の方向に沿ってアンカー部分から延びる第２のビーム部分とを含む。第１の制御電極および第１の接触電極が、第１のビーム部分を向いて基板上に配設される。第２の制御電極および第２の接触電極が、第２のビーム部分を向いて基板上に配設される。第１の制御電極および第２の制御電極は、複数のゲートの中の１つのゲートを形成するために結合される。複数の微小電気機械スイッチは、直列配列、並列配列のうちの少なくとも一方で配列される。【選択図】図１

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Inventors:
Aimi, Marco Francesco
Spence, Dan Kenrick
Application Number:
JP2016574280A
Publication Date:
September 21, 2017
Filing Date:
June 23, 2015
Export Citation:
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Assignee:
GENERAL ELECTRIC COMPANY
International Classes:
B81B3/00; H01H59/00
Domestic Patent References:
JP2015501069A2015-01-08
JP2009152195A2009-07-09
Foreign References:
US20130134018A12013-05-30
Attorney, Agent or Firm:
Arakawa Satoshi
Hirokazu Ogura
Toshihisa Kurokawa
Takuto Tanaka



 
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