Title:
材料をパターニングするためのマイクロマシニング方法及びシステム、並びに1つのこのようなマイクロマシニングシステムを使用する方法。
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017528326
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、材料をパターニングするためのマイクロマシニング方法に関する。パターンは、複数の点から構成される。方法は次のステップ:− 空間的及び時間的にコヒーレントなパルス光ビームを放射するステップ;− パターンを形成する複数の点にしたがって前記光ビームを整形するために少なくとも1つの位相変調を適用することにより、動的光学変調装置の変調面において、前記空間的及び時間的にコヒーレントなパルス光ビームを動的に整形するステップ;及び− 変調面に対してフーリエ構成で作業面に位置する前記材料の1つの表面上へ、合焦装置により、そのように整形される光ビームを合焦させるステップ;を含む。前記方法では、材料にパターンを形成することは、パターンを形成する点の数より厳密に少ない前記光ビームのパルスの有限数を含むパルス列で実行され、光ビームの放射は、各パルスが、10psから100nsの間の所定のパルス持続時間を有するように制御される。本発明はまた、前記方法を実装するマイクロマシニングシステム及び前記システムを使用する方法に関する。
Inventors:
Landon, Sebastian
Di Maio, Ioan
Banquet
Di Maio, Ioan
Banquet
Application Number:
JP2017519993A
Publication Date:
September 28, 2017
Filing Date:
July 01, 2015
Export Citation:
Assignee:
Kiova
International Classes:
B23K26/00; B23K26/0622; G06K1/12; G06K19/06; H01S3/00; H01S3/10
Domestic Patent References:
JP2010012494A | 2010-01-21 | |||
JP2013063455A | 2013-04-11 | |||
JPH06208088A | 1994-07-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki