Title:
高効率ハイブリッド水平型反応器を利用したポリシリコン製造装置及び製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2017530077
Kind Code:
A
Abstract:
本発明によれば、反応ガスと還元ガスとを含む原料ガス供給口、残留ガス排出口、及び原料ガスが接触する反応面と原料ガスとの反応により生成された溶融ポリシリコンを排出するための開口部が底面に形成された横型反応管と、前記横型反応管の反応面を加熱するための第１加熱手段と、を備え、前記横型反応管は、ポリシリコンの析出のための第１領域と、反応副産物を前記反応ガスに切り替えるための第２領域とが直列連結されてなされた反応領域を一つ以上含むポリシリコン製造装置が提供される。また、前記ポリシリコン製造装置を利用するポリシリコン製造方法が提供される。
Inventors:
Uns Jean
Yoo Suk Kim
John Kyu Kim
Jin Hyun Yoo
Jun Woo
Yoo Suk Kim
John Kyu Kim
Jin Hyun Yoo
Jun Woo
Application Number:
JP2017513091A
Publication Date:
October 12, 2017
Filing Date:
July 03, 2015
Export Citation:
Assignee:
LG HAUSYS,LTD.
International Classes:
C01B33/03
Domestic Patent References:
| JP2006298740A | 2006-11-02 | |||
| JP2014088275A | 2014-05-15 | |||
| JPH10287413A | 1998-10-27 | |||
| JP2008143774A | 2008-06-26 | |||
| JP2006298740A | 2006-11-02 | |||
| JP2014088275A | 2014-05-15 | |||
| JPH10287413A | 1998-10-27 | |||
| JP2008143774A | 2008-06-26 |
Attorney, Agent or Firm:
Shinya Mitsuhiro
Takashi Watanabe
Takashi Watanabe