Title:
微小電気機械システムのためのベント取付けシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018501972
Kind Code:
A
Abstract:
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスのオープンポートを保護するベントの取り付け方法であって、ベントが、担体に取り付けられた環境バリアメンブレンを含むタイプであり、かつ、ライナーに更に取り付けられており、方法が、（ａ）ダイエジェクタと、減圧ヘッド及びグリッパーヘッドのうちの少なくとも１つとを含むダイ取付け機械にベントを供給する工程と、（ｂ）ダイエジェクタを用いて前記ライナーからベントを引き離す工程と、（ｃ）ダイ取付け機械の減圧ヘッド及びグリッパーヘッドのうちの少なくとも１つによりベントを持ち上げる工程と、（ｄ）ＭＥＭＳデバイスのオープンポートの上にベントを配置する工程と、（ｅ）ＭＥＭＳデバイスのオープンポートの上にベントを固定する工程とを含む、方法。【選択図】図１
Inventors:
Andrew Holiday
William kinder
William kinder
Application Number:
JP2017531682A
Publication Date:
January 25, 2018
Filing Date:
December 15, 2015
Export Citation:
Assignee:
W.L. GORE & ASSOCIATES, INCORPORATED
International Classes:
B81C3/00; B81B7/02; H01L21/683; H01L23/02; H04R19/04
Domestic Patent References:
| JP2005332982A | 2005-12-02 | |||
| JPH09181150A | 1997-07-11 | |||
| JPH0813179A | 1996-01-16 | |||
| JPS60201647A | 1985-10-12 |
Foreign References:
| WO2013138286A1 | 2013-09-19 | |||
| US20090091044A1 | 2009-04-09 | |||
| US20140264650A1 | 2014-09-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Atsushi Aoki
Takashi Ishida
Satoshi Deno
Yasuo Dogaki
Kenji Kimura
Takashi Ishida
Satoshi Deno
Yasuo Dogaki
Kenji Kimura