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Title:
光塩基発生剤を含有する光イメージ化可能なポリオレフィン組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018508824
Kind Code:
A
Abstract:
本発明による実施形態は、マイクロ電子デバイス、マイクロ電子パッケージ、マイクロエレクトロメカニカルシステム、光電子デバイス及びディスプレイ用構造物を製造するためにパターン化可能な膜を形成することに有用な様々な光塩基発生剤を含む自己イメージ化可能なポリマー組成物を含む。本発明の組成物は、水性現像可能な媒質での意図された用途によってポジティブトーン又はネガティブトーンイメージを形成するように調整することができる。それから形成されたイメージは、他の特性の向上のなかでも、低いウエハストレス及びより良好な熱機械的特性を含む改善した特性を示す。

Inventors:
カンダナラチチ, プラモド
ローズ, ラリー
イング, ヘンドラ
チャン, ウェイ
ナップ, ブライアン
Application Number:
JP2017542905A
Publication Date:
March 29, 2018
Filing Date:
February 12, 2016
Export Citation:
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Assignee:
プロメラス, エルエルシー
International Classes:
G03F7/038; C08F232/04; G03F7/004; G03F7/075; G03F7/20
Domestic Patent References:
JP2015007770A2015-01-15
JP2015018049A2015-01-29
Foreign References:
WO2014176490A12014-10-30
Attorney, Agent or Firm:
安部 誠
大井 道子
山根 広昭