Title:
長手方向シール部材および環状シール部材を備える真空ポンプ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018523776
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、多段真空ポンプに関し、複数のポンプ室を画定し、互いに結合する長手方向延在面１１８，１２０に沿って組み立てられる、第１および第２のハーフシェルステータ部品１０２，１０４と、端部ステータ部品１２２，１２４と第１および第２のハーフシェルステータ部品１０２，１０４とが互いに結合する長手方向端面１２６，１２８において組み立てられる、第１および第２の端部ステータ部品１２２，１２４と、一体的に組み立てられた第１のハーフシェル部品と第２のハーフシェル部品との間をシールする長手方向シール１２と、組み立てられたときに第１および第２の端部ステータ部品と第１および第２のハーフシェル部品との間をシールする環状シール１４６と、を備える。環状シール部材および長手方向シール部材は、それらの間に平坦なシール面を形成している。【選択図】図１
Inventors:
Kim Jeho
Kila Sam Shiva Balun
Kila Sam Shiva Balun
Application Number:
JP2018506159A
Publication Date:
August 23, 2018
Filing Date:
July 27, 2016
Export Citation:
Assignee:
Edwards Limited
International Classes:
F04C27/00; F04C25/02; F04C29/00; F16J15/06
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
Disciple Maru Ken
▲吉▼田 和彦
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Disciple Maru Ken
▲吉▼田 和彦
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto