Title:
レーザー及びガス流による付加製造の表面処理
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018528872
Kind Code:
A
Abstract:
表面変更用の装置は、被加工物を保持する支持体、被加工物よりも小さい局所領域でプラズマを生成するプラズマ源、及び被加工物とプラズマ源の相対配置を操作する６軸ロボットを含む。６軸ロボットは、支持体とプラズマ源のうちの少なくとも１つに連結されている。【選択図】図２
Inventors:
Swaminathan, Bharat
Eun, Eun
Patti Bandra, Nag Bee.
Eun, houter.
Joshi, Agem.
Kumaru, Ashavani
Free, bernard
Krishnan, Casillaman
Eun, Eun
Patti Bandra, Nag Bee.
Eun, houter.
Joshi, Agem.
Kumaru, Ashavani
Free, bernard
Krishnan, Casillaman
Application Number:
JP2017565797A
Publication Date:
October 04, 2018
Filing Date:
June 17, 2016
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
B29C64/268; B23K15/00; B23K26/34; B23K26/361; B29C64/30; H05H1/24
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda/Kobayashi Patent Business Corporation