Title:
電場結合を用いる小型マイクロ波プラズマ照射装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019517707
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマ照射装置は、プラズマ放電管および、前記プラズマ放電管の部分を少なくとも部分的に取り囲むマイクロ波キャビティを含む。マイクロ波エネルギーは、結合絞りを介してマイクロ波キャビティに結合される。マイクロ波キャビティの少なくとも二つの直交次元は、前記マイクロ波キャビティ内の前記マイクロ波エネルギーが横電気（ＴＥ）モードで伝搬するように選択される。前記マイクロ波エネルギーから発生する一次電場は、前記結合絞りから発生するエバネセント電場と結合し、前記マイクロ波キャビティでの結合電場は、前記プラズマ放電管の前記縦軸に沿って実質的に均一になる。複数のラジアルマイクロ波チョークは、前記プラズマ放電管の外部にわたって配置される。マイクロ波チョークは、ＴＥモード及び横電磁（ＴＥＭ）モードで伝搬するマイクロ波エネルギーが減衰するように位置する。
Inventors:
Mohammad Kamalehi
Chaolin Fu
Olivia keller
Chaolin Fu
Olivia keller
Application Number:
JP2018558374A
Publication Date:
June 24, 2019
Filing Date:
May 05, 2017
Export Citation:
Assignee:
MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
International Classes:
H05H1/30; H01L21/3065; H05H1/46
Domestic Patent References:
| JP2016039140A | 2016-03-22 | |||
| JPS4616863B1 | ||||
| JPH09270386A | 1997-10-14 | |||
| JPH10247598A | 1998-09-14 | |||
| JPH11507476A | 1999-06-29 | |||
| JP2001176695A | 2001-06-29 | |||
| JP2005525234A | 2005-08-25 | |||
| JP2006127914A | 2006-05-18 |
Foreign References:
| WO2014192062A1 | 2014-12-04 | |||
| US20090278054A1 | 2009-11-12 | |||
| WO2015193155A1 | 2015-12-23 | |||
| US20020112819A1 | 2002-08-22 |
Attorney, Agent or Firm:
Axis International Patent Business Corporation